PVD物理氣相沉積是在基體表面沉積形成特定功能薄膜的一種技術,在特定環(huán)境下,把鍍料靶材加工至原子分子等結構,并遷移沉積在基底材料上,形成薄膜。主要在涂覆工具、耐磨機械零部件、微電子、超導技術、光學領域應用廣泛。
玻璃PVD退鍍(去除)主要在3C電子、顯示蓋板領域應用較多,如攝像頭透光控、指紋模塊、開關面板等。常規(guī)采用化學退鍍液退鍍或超聲波退鍍(去除),或多或少存在傷害玻璃基層、化學污染、成本等缺點。
華日采用皮秒紫外激光對退鍍(去除)進行加工,原理是:外部光路將皮秒紫外激光聚焦至材料上,通過振鏡的加工路徑,不斷掃描燒蝕去除鍍層材料,達到退鍍(去除)效果。加工效率高,鍍層去除效果好,透光率可高于83%以上(目前超白玻璃透光率90%左右),加工無玻璃基材損傷。
在激光加工中,主要對退鍍(去除)深度需要良好的把控,退鍍(去除)過深導致玻璃基材損傷并出現部分毛化效果,影響透光率;退鍍(去除)過淺對涂層去除不充分,影響透光率;需不斷調整光路參數。